对准精度
duì zhǔn jīng dù
ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
📖 词语释义
- 拼音字母dui zhun jing du
- 首字母dzjd
- 注音符号ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
- 更新2026-07-10 17:24:33
更多解释
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
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