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离子铣
lí zi xǐ
ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ

📖 词语释义

更多解释

离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。

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